Taşlamanın ardından kaplamalı ya da kaplamasız parçalar Süper Finiş Parlatma sistemine alınarak yüzey pürüzlülüklerinin ra:0.01µm gibi çok düşük değerlere getirilmesi sağlanır. Parlatma operasyonu tozdan arındırılmış bir kabin içinde iş parçası döndürülerek yapılır.
Sert krom, tungsten karbür, krom karbür, seramik, metal birleşimi gibi farklı karakterdeki kaplamaların parlatma işlemlerinde tane boyutlarına göre numaralandırılmış alüminyum oksit ya da saf elmastan yapılmış bantlar kullanılır.
